新聞資訊
		
              
    
              

              



              
    
              
                當(dāng)前位置：
首頁
 > 
服務(wù)與應(yīng)用
              

              



              
    
              
        
                
              
            
              
            
              
                
                
              
                    
              
                        
              售后與應(yīng)用 Service

              
                    
              
                    
                
              

               
              
                    
              
                        
              聯(lián)系我們Contact Us
              
                    
              
                    
              
                        
              郵箱：[email protected]
              網(wǎng)址：www. weiboshebei.cn
              電話：13544892266/0769-85388009
              地址：中國廣東省東莞市長安鎮(zhèn)霄邊第四工業(yè)區(qū)正龍路4號1棟1樓
              
                        
              
                    
              
                
              
                
              
                    

                        

                    
                
              
            
              
        
        
                
              
            
              
           
              
    
              微波干法刻蝕
              

    
              
        
              2013-10-25
              
        
              2925次
              
            
              

    
              
	微波干法刻蝕
              

              
	 　　利用微波等離子體可進行半導(dǎo)體及集成電路的干法刻蝕工藝。如使用氟里昂氣體，可產(chǎn)生氟原子，它和硅（基體）進行化學(xué)反應(yīng)而生成四氟化硅（ＳｉＦ４）氣體。為了增加刻蝕速度，通常可混入氧氣。此種干法工藝和利用氟酸的濕法相比，刻蝕的尺寸精度高，而且大大減少公害。
              

              
    
    
    
              
    

              
    
              
        
              
            
              其他推薦
              
        
              
        
              
    
              
   
    

              



              
        
        
                
              
            
                
                
                • 
                
                • 
            
              
        
              
            
              

              








              
    
              
        
        
              
            
              
                
                
              
                    
              服務(wù)電話：
                        
              13544892266
              傳真：0769-85388283
              
                    
              
                
              
            
              
            
              
                
              
                    
              東莞市齊協(xié)微波設(shè)備有限公司
              郵箱：[email protected]
              網(wǎng)址：www. weiboshebei.cn
              電話：13544892266/0769-85388009
              地址：廣東省東莞市長安鎮(zhèn)霄邊第四工業(yè)區(qū)正龍路4號1棟1樓
              
                
              
            
              
            
              
                
              
                    
              
                        
                        
              咨詢微信二維碼